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陽(yáng)極層離子源
離子源離化氧輔助濺射靶沉積氧化釓
低壓弧源離子源
使用過(guò)的陽(yáng)極層離子源
陽(yáng)極層離子源清洗玻璃
旋轉(zhuǎn)多弧靶
φ100傳統(tǒng)多弧靶
冷陰極電子給鍍膜材料加電子
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